[发明专利]一种金刚石膜生长设备的热丝及电极结构

摘要

本发明的金刚石膜生长设备的热丝及电极结构，属于热丝法金刚石膜生长技术领域。本发明主要包括一个固定电极、一个移动电极和相应的热丝，其特征在于：所述的固定电极上等间距的设有一组电极柱；所述的移动电极上也等间距的设有一组电极柱，且所述间距与固定电极上电极柱间距相等，所述电极柱与固定电极上电极柱错开半个间距；所述的热丝为一根扁平状热丝，绕在固定电极与移动电极的电极柱上形成热丝阵列。由于采用了扁丝结构，与圆丝相比增大了反应气体与热丝的接触面积和接触时间，提高反应气体分解率，使得金刚石膜的生长速率得到很大提高；扁状热丝间互相辐射加热，节约了电能，降低了金刚石膜的生长成本。

主权项

1、一种金刚石膜生长设备的热丝及电极结构，包括一个固定电极、一个移动电极，和依靠固定电极与移动电极装夹的热丝，其特征在于：所述的固定电极上等间距的设有一组电极柱；所述的移动电极上等间距的设有一组电极柱，且所述间距与固定电极上电极柱间距相等，所述电极柱与固定电极上电极柱错开半个间距；所述的热丝为一根扁平状热丝，绕在固定电极与移动电极的电极柱上形成热丝阵列。