[发明专利]固体电容式结构微型传声器无效
| 申请号： | 200610039422.5 | 申请日： | 2006-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1838837A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;周闵新;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H04R19/01 | 分类号： | H04R19/01;H04R19/04 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 固体电容式结构微型传声器是一种用于传递声音信号的器件，该传声器由衬底(2)、上电容极板(21)、下电容极板(22)、电容介质膜(23)及其引线(221)组成，在衬底(2)上设有下电容极板(22)，在衬底(2)中间和下电容极板(22)的下方设有空腔(1)，上电容极板(21)和下电容极板(22)为电极膜，在电极膜之间由电容介质膜(23)填充，形成固体电容形式即：导体—介质—导体的结构，在介质膜(23)中设有一导电体(24)，引线(221)覆盖在空槽(24)上。该传声器可与标准集成电路工艺兼容的固体电容式结构微型传声器，具有加工简单和灵敏度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 电容 结构 微型 传声器 | ||
【主权项】：
1、一种固体电容式结构微型传声器，其特征在于该传声器由衬底(2)、上电容极板(21)、下电容极板(22)、电容介质膜(23)及其引线(221)组成，在衬底(2)上设有下电容极板(22)，在衬底(2)中间和下电容极板(22)的下方设有空腔(1)，上电容极板(21)和下电容极板(22)为电极膜，在电极膜之间由电容介质膜(23)填充，形成固体电容形式即：导体—介质—导体的结构，在介质膜(23)中设有一导电体(24)，引线(221)覆盖在空槽(24)上。
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