[发明专利]仿生周期微纳结构表面的大区域激光造型方法及装置

摘要

本发明属于微纳加工和激光成型技术领域，其由Nd:YAG调Q纳秒脉冲激光器输出的激光光束经滤波片、电子光闸等元件后由聚焦镜聚焦，聚焦后的激光光束直接作用于加工样品表面，微纳加工过程中由计算机控制系统控制电子光闸的开关来实现光路的通断，由计算机控制系统通过驱动器来控制三维驱动工作台在水平方向上的纵横微移。本发明微纳加工系统结构简单，操作方便，成本较低。表面微纳结构的周期易控，加工质量较高。通过控制加工中的激光光斑直径、点扫描时的重复次数、线扫描时三维驱动工作台的微移速度和激光脉冲的重复频率等参数即可准确调整表面微纳结构分布，使其周期性更显著。且微纳加工过程控制容易，加工效率较高。

主权项

1.仿生周期微纳结构表面的大区域激光造型装置，其特征是由激光光源、外光路系统和样品控制系统依次组成，激光光源采用Nd:YAG调Q纳秒脉冲激光器(1)的二倍频输出或者三倍频输出，外光路系统由光学元件滤波片(3)、聚焦镜(6)依次连接构成；样品控制系统包括置于外光路系统中的电子光闸(4)、加工样品(9)、三维驱动工作台(10)、计算机控制系统(12)、驱动器(11)，其中计算机控制系统(12)与电子光闸(4)和驱动器(11)、驱动器(11)与三维驱动工作台(10)均通过数据线相连接。