[发明专利]利用管式气氛炉快速升温制备硒化锌纳米晶薄膜的方法无效
| 申请号： | 200610041792.2 | 申请日： | 2006-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN1827528A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 汪敏强;霍萧;姚熹 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C01G9/00 | 分类号： | C01G9/00;C01B19/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张震国 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 利用管式气氛炉快速升温制备硒化锌纳米晶薄膜的方法，取单质硒粉和单质锌粉按1∶1的摩尔比混合并转入高能球磨罐中，在氮气或氩气保护下球磨，使ZnSe粉末的尺度为5～20纳米；将ZnSe纳米粉放入石英舟一端的凹槽中，硅片或石英基片放在石英舟的另一侧；再将石英舟置于长度大于管式炉炉体长度1.5倍以上的石英管中，开启抽气机排氧并充入氩气，重复三次；将石英管冷端推入管式气氛炉中，要求5分钟内将石英管内放置的ZnSe纳米粉末原料升温到800℃～1000℃，使硅片或石英基片的温度为160℃－240℃即可在硅片或石英片上得到硒化锌纳米晶薄膜。本发明真空度要求低，薄膜厚度和薄膜纳米晶尺度均可通过工艺条件控制。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 气氛 快速 升温 制备 硒化锌 纳米 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、利用管式气氛炉快速升温制备硒化锌纳米晶薄膜的方法，其特征在于：1)取单质硒粉和单质锌粉按1∶1的摩尔比秤量混合，然后，将混合物转入高能球磨罐中，在氮气或氩气保护下球磨，使ZnSe粉末的尺度为5～20纳米；2)将ZnSe纳米粉放入石英舟一端的凹槽中，硅片或石英基片放在石英舟的另一侧；3)再将石英舟置于长度大于管式炉炉体长度1.5倍以上的石英管中，然后，开启抽气机当抽气机的负压表指针读数为0.1并稳定后，关闭抽气机，将氩气充入石英管中，当负压表读数为0.8个大气压时再次打开抽气机，同时关闭氩气，直到负压表指针读数为0.1时关闭抽气机，上述排除管内氧气的过程重复三次；4)将石英管冷端推入管式气氛炉中，要求5分钟内将石英管内放置的ZnSe纳米粉末原料升温到800℃～1000℃，使硅片或石英基片的温度为160℃-240℃即可在硅片或石英片上得到硒化锌纳米晶薄膜。
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