[发明专利]叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法无效
| 申请号： | 200610042039.5 | 申请日： | 2006-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN1804609A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 裴素华;黄萍;朱俊孔;岳彬 | 申请（专利权）人： | 山东师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;G01N27/333 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人： | 鲍光明 |
| 地址： | 250014山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法，属于金属氧化物半导体气敏元件技术领域。采用旁热式器件结构，以Al2O3陶瓷管为载体，外表面采用梳状式Au电极，敏感层为内敏感膜和外敏感膜叠加，内敏感膜材料组分以含钇的γ－Fe2O3为基质，掺入SnSO4和AuCl3，外表面薄膜敏感层材料为氧化锡铟纳米薄膜。本发明集厚膜敏感层、薄膜型敏感层的优势为一体，在降低器件功耗、保持稳定可靠性的前提下，充分发挥纳米量子效应，自催化活性和显著的表面界面效应，得到响应甲醛气体灵敏度高、分辨率高、选择性能好、响应与恢复时间短、抗湿性能好、寿命长的气敏传感器器件。 | ||
| 搜索关键词： | 叠加 敏感 甲醛 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.甲醛气敏器件，采用旁热式器件结构，其特征在于，以Al2O3陶瓷管为载体，外表面采用梳状式Au电极结构，敏感层为内敏感膜和外敏感膜叠加，形成气敏素子；内敏感膜材料组分以含钇的γ-Fe2O3为基质，掺入重量比15～25％的SnSO4和1～4％的AuCl3，外表面薄膜敏感层材料组分为锡与铟摩尔比1∶0.1～0.2的氧化锡铟纳米薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东师范大学，未经山东师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610042039.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
