[发明专利]叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法无效

专利信息
申请号: 200610042039.5 申请日: 2006-01-17
公开(公告)号: CN1804609A 公开(公告)日: 2006-07-19
发明(设计)人: 裴素华;黄萍;朱俊孔;岳彬 申请(专利权)人: 山东师范大学
主分类号: G01N27/407 分类号: G01N27/407;G01N27/333
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 代理人: 鲍光明
地址: 250014山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法,属于金属氧化物半导体气敏元件技术领域。采用旁热式器件结构,以Al2O3陶瓷管为载体,外表面采用梳状式Au电极,敏感层为内敏感膜和外敏感膜叠加,内敏感膜材料组分以含钇的γ-Fe2O3为基质,掺入SnSO4和AuCl3,外表面薄膜敏感层材料为氧化锡铟纳米薄膜。本发明集厚膜敏感层、薄膜型敏感层的优势为一体,在降低器件功耗、保持稳定可靠性的前提下,充分发挥纳米量子效应,自催化活性和显著的表面界面效应,得到响应甲醛气体灵敏度高、分辨率高、选择性能好、响应与恢复时间短、抗湿性能好、寿命长的气敏传感器器件。
搜索关键词: 叠加 敏感 甲醛 器件 及其 制作方法
【主权项】:
1.甲醛气敏器件,采用旁热式器件结构,其特征在于,以Al2O3陶瓷管为载体,外表面采用梳状式Au电极结构,敏感层为内敏感膜和外敏感膜叠加,形成气敏素子;内敏感膜材料组分以含钇的γ-Fe2O3为基质,掺入重量比15~25%的SnSO4和1~4%的AuCl3,外表面薄膜敏感层材料组分为锡与铟摩尔比1∶0.1~0.2的氧化锡铟纳米薄膜。
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