[发明专利]钇钡铜氧高温超导薄膜微细图形的制备方法

摘要

本发明公开了一种钇钡铜氧高温超导薄膜微细图形的制备方法。利用具有感光特性的YBCO溶胶，采用化学修饰法与Sol－Gel法相结合的微细加工方法，将薄膜的制备与微细加工溶入到一个过程当中进行，并且该法不会影响薄膜的性能，制备出来的图形周期可达微米级，且图形规整，对基板无影响，具有良好的超导特性。

主权项

1.一种钇钡铜氧高温超导薄膜微细图形的制备方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：1)采用钇钡铜氧高温超导薄膜用的溶胶为前驱液，结合浸渍提拉法或旋涂法涂覆在铝酸镧单晶基板上，即可得到凝胶薄膜；上述钇钡铜氧高温超导薄膜用的溶胶有效成分的原料及其摩尔比为：醋酸钇∶醋酸钡∶醋酸铜∶三氟乙酸∶水∶丙烯酸∶二乙烯三胺∶甲醇∶苯酰丙酮＝1∶2∶(3～4)∶(4～10)∶(20～160)∶(6～40)∶(1～5)∶(60～240)∶(1～10)；2)将得到的凝胶薄膜在70℃～100℃烘干，通过掩膜在紫外光下照射5～20分钟，然后通过甲醇或乙醇清洗，即可得到凝胶薄膜的微细图形；3)再将制备好的凝胶薄膜薄膜微细图形在空气或氧气保护下150℃～250℃预烘0-30分钟后，进行如下方式的热处理：A.首先进行第一阶段热处理，即热分解处理，其方法是：在水蒸气压为1％～10％的流动O2气氛中，以2℃/min～10℃/min的速度升温到400℃～450℃，并保温0～30分钟，随后关闭氧气，并随炉降温到室温；B.将经过上述步骤A处理后的膜，在高纯N2或含有少量氧气的氧氮混合气体中，快速升温到700℃～850℃，在水蒸气压为1％～10％的条件下保温1小时～6小时，随后，将气氛切换成干燥的气体，继续保温10-30分钟后，随炉降温到550℃，并将气体切换成纯O2，并在450℃保温2-8小时，最后随炉降温到室温，即可获得临界温度80～90K的超导膜的微细图形。