[发明专利]一种表面金属镀膜设备用靶极系统无效
| 申请号： | 200610044770.1 | 申请日： | 2006-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1865488A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 毕研文;王乃用;宋小斌;张强;江衍勤 | 申请（专利权）人： | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 274000山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种靶极系统，特别公开了一种表面金属镀膜设备用靶极系统。该表面金属镀膜设备用靶极系统，包括固定轴、与固定轴连接的导磁芯轴，固定轴外为密封室、固定架，固定架的一侧固定有靶极门及防护罩，其特殊之处在于：所述固定轴上固定有传动链轮，传动链轮依次连接转动轴、靶极连接法兰、靶材连接法兰及靶材。本发明由于靶材产生旋转，表面均匀溅射，利用率由原来的10％提高到60％以上。组成了一整套可旋转的真空镀膜靶极，不仅提高了靶材利用率，而且提高了设备效率，延长了设备维护周期，降低了镀膜成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 金属 镀膜 备用 系统 | ||
【主权项】：
1.一种表面金属镀膜设备用靶极系统，包括固定轴(2)、与固定轴(2)连接的导磁芯轴(11)，固定轴(2)外为密封室(4)、固定架(1)，固定架(1)的一侧固定有靶极门(5)及防护罩(6)，其特征在于：所述固定轴(2)上固定有传动链轮(3)，传动链轮(3)依次连接转动轴(7)、靶极连接法兰(8)、靶材连接法兰(9)及靶材(10)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于菏泽天宇科技开发有限责任公司，未经菏泽天宇科技开发有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610044770.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
