[发明专利]匀胶显影设备用胶泵无效
| 申请号： | 200610046529.2 | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101071270A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 程金胜;于海川;张军 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源先进半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及应用于光刻工艺中的光刻胶涂敷装置，具体为一种轨道式匀胶显影设备用胶泵，包括在管路上依次设置的隔膜泵、通断阀、回吸阀，隔膜泵与胶瓶连通，回吸阀与出胶口连通。本发明用气控隔膜泵配合通断阀和回吸阀来完成整个的吸胶打胶工作，能够顺利的完成喷胶－关断－回吸功能，控制模块和胶泵模块能够可靠的相互连接、协调完成工作，在达到使用性能的前提下大大的降低了生产成本，实现了胶泵的国产化。本发明胶泵系统主要适用于半导体生产领域。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 备用 | ||
【主权项】：
1、一种匀胶显影设备用胶泵，其特征在于：包括在管路上依次设置的隔膜泵(5)、通断阀(6)、回吸阀(7)，隔膜泵(5)与胶瓶(4)连通，回吸阀(7)与出胶口连通。
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