[发明专利]一种FeS2/In2S3复合膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 200610049832.8 申请日: 2006-03-14
公开(公告)号: CN101038944A 公开(公告)日: 2007-09-19
发明(设计)人: 孟亮;刘艳辉 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 代理人: 冯子玲
地址: 310027浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种FeS2/In2S3复合膜的制备方法。采用ITO膜导电玻璃基片,在摩尔浓度比为1∶(5~6)的水溶液中电沉积预制膜,经130~180℃氧化处理得到多孔形态的Fe3O4/In2O3复合先驱体膜,再在40~80kPa硫蒸气名义压力气氛中经400℃硫化处理10~30h,使复合先驱体膜转变成FeS2/In2S3复合膜。本发明在电沉积后引入氧化工艺,促进了热硫化中的FeS2反应,直接由基底膜硫化形成In2S3,省去了单独合成In2S3的工艺过程,FeS2/In2S3两相界面结合能够得到有效保证,复合膜与基片之间附着牢固可靠。
搜索关键词: 一种 fes sub in 复合 制备 方法
【主权项】:
1.一种FeS2/In2S3复合膜的制备方法,其特征在于下述步骤:(1)采用载膜基片为In2O3∶SnO2=9∶1的ITO膜导电玻璃,先后在丙酮和乙醇溶液中超声波清洗各20min后,再用去离子水冲洗;(2)用载膜基片做阴极,Pt片做阳极,在FeSO4和Na2S2O3水溶液中电沉积制取预制膜;(3)将预制膜在环境气氛中进行氧化处理,得到多孔形态的Fe3O4/In2O3复合先驱体膜;(4)将先驱体膜和纯度为99.5%的升华硫粉封装于石英管中,封装前通过反复5次充氩-抽真空过程置换残余气体,封装时抽真空至0.01Pa;(5)将封装后的先驱体膜在400℃等温炉中进行硫化处理,得到FeS2/In2S3复合膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学,未经浙江大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200610049832.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top