[发明专利]一种用于集成光学传感的复合结构光波导无效
申请号: | 200610049849.3 | 申请日: | 2006-03-15 |
公开(公告)号: | CN1818727A | 公开(公告)日: | 2006-08-16 |
发明(设计)人: | 郝寅雷;杨建义;江晓清;周强;李锡华;王明华 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G02B6/02 | 分类号: | G02B6/02;G02B1/00;G02B6/26 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 林怀禹 |
地址: | 310027浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及了一种用于集成光学传感的复合结构光波导。光波导为四层结构,包括预先形成的条形光波导的下包层和芯层,位于芯层上方的传感膜,以及位于传感膜上方的含有待测物质的介质。传感膜的折射率等于或高于预先形成的条形芯层的折射率,位于传感膜上方的含有待测物质的介质的折射率小于传感膜的折射率;预先形成的条形光波导的下包层的折射率小于芯层的折射率;构成“倒脊型”的复合光波导。在这种复合结构光波导中传播的光导波能量大部分分布在传感膜中,增强了光导波与待测物质的相互作用,提高了传感器的敏感程度,并具有较大的工艺容差。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 集成 光学 传感 复合 结构 波导 | ||
【主权项】:
1.一种用于集成光学传感的复合结构光波导,其特征在于:光波导为四层结构,包括预先形成的条形光波导的下包层(1)和芯层(2),位于芯层(2)上方的传感膜(3),以及位于传感膜(3)上方的含有待测物质的介质(4);传感膜(3)的折射率等于或高于预先形成的条形芯层(2)的折射率,位于传感膜(3)上方的含有待测物质的介质(4)的折射率小于传感膜(3)的折射率;预先形成的条形光波导的下包层(1)的折射率小于芯层(2)的折射率;构成“倒脊型”的复合光波导。
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