[发明专利]高速卷绕多层电容薄膜镀膜机及其工艺流程

摘要

本发明公开了高速卷绕多层电容薄膜镀膜机，包括的真空仓体经隔仓板隔有卷绕室和溅射蒸镀室，其分别通过上真空管路和下真空管路连接各自的真空抽气系统，真空仓体内设有蒸镀鼓，卷绕室设有由PLC程序控制技术控制的由放卷组件、蒸镀鼓和收卷组件组成的薄膜卷绕系统；溅射蒸镀室设有由蒸镀鼓带动屏带棍组件组成的屏带卷绕系统；溅射蒸镀室还设有位于蒸镀鼓下侧的第一、第二磁控溅射平面铝靶、锌蒸发源，且第一、第二磁控溅射平面铝靶位于锌蒸发源的两侧。其工艺流程为展平的薄膜还经蒸镀鼓通过位于溅射蒸镀室的第一磁控溅射平面铝靶镀一铝层，又经锌蒸发源镀一锌层，再经第二磁控溅射平面铝靶镀一铝氧化层，卷绕回到卷绕室收卷。

主权项

1、高速卷绕多层电容薄膜镀膜机，包括采用长方体结构的真空仓体(C)，其特征是：所述的真空仓体(C)经中间的隔仓板(1)隔开有位于上部的卷绕室(A)和位于下部的溅射蒸镀室(B)，所述的卷绕室(A)和溅射蒸镀室(B)分别通过上真空管路(D)和下真空管路(E)连接各自的真空抽气系统，真空仓体(C)内设有蒸镀鼓(5)，该蒸镀鼓(5)上、下部分别位于卷绕室(A)和溅射蒸镀室(B)，卷绕室(A)设有由PLC程序控制技术控制的薄膜卷绕系统，该薄膜卷绕系统由放卷组件、蒸镀鼓(5)和收卷组件组成；所述的溅射蒸镀室(B)设有屏带卷绕系统，该屏带卷绕系统由蒸镀鼓(5)带动屏带棍组件组成；所述的溅射蒸镀室(B)还设有位于蒸镀鼓(5)下侧的第一磁控溅射平面铝靶(6)、锌蒸发源(7)、第二磁控溅射平面铝靶(8)，且所述的第一磁控溅射平面铝靶(6)、第二磁控溅射平面铝靶(8)位于锌蒸发源(7)的两侧。