[发明专利]上下游温度分布二次差动流量测量方法、传感器、及应用无效
| 申请号： | 200610050144.3 | 申请日： | 2006-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101050974A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 毛巨林;赵文宏;涂相征 | 申请（专利权）人： | 杭州中矽微电子机械技术有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/76 | 分类号： | G01F1/76 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 310027浙江省杭州市西溪路*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于上下游温度分布二次差动气体质量流量测量方法、传感器、及应用。包括加温元件，对称设置在加温元件两侧的温度检测元件，即上游温度检测元件和下游温度检测元件，其特征在于所述的加温元件与恒功率源激励相连，上游温度检测元件和下游温度检测元件分别与差动运算电路的两个信号输入端相连，所述的差动运算电路的输出端连接有中央处理单元。具有如下优点：通过对上下游温度变化差值进行二次差动运算，保证对低速段线性度影响较小；气体质量流量的流速和输出电压的关系曲线的饱和点往后推，量程扩大，提高了量程范围和线性度；测量精度高，灵敏度高；采用MEMS技术实现了低功耗、高频响，大幅降低芯片的热惯性。 | ||
| 搜索关键词： | 下游 温度 分布 二次 差动 流量 测量方法 传感器 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于上下游温度分布二次差动气体质量流量测量方法，其特征在于：a.在传感器的加温元件上施加恒功率源激励，通过对称设置在加温元件两侧的温度检测元件分别测量无气流状态下加温元件上下游的温度分布；b.当气体流过传感器时，上游温度检测元件测定所在区域温度分布变化并且输出产生上游温度差值信号，下游温度检测元件测定所在区域温度分布变化并且输出产生下游温度差值信号；c.用上游温度差值信号减去下游温度差值信号，从而得出上下游温度分布二次差动信号，通过二次差动信号和流动气流质量流量的对应关系测量出流经传感器的气流质量流量。
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