[发明专利]常压化学气相沉积法制备的硅化钛纳米钉及其制备方法无效
| 申请号： | 200610050490.1 | 申请日： | 2006-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN1843998A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 杜丕一;杜军;郝鹏;黄燕飞;翁文剑;韩高荣;赵高凌;沈鸽;宋晨路;徐刚;张溪文 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;C23C16/42 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种常压化学气相沉积法制备的硅化钛纳米钉及其制备方法。在纳米线体的一端设有纳米钉头，纳米线体一端与纳米钉头通过过渡区相连接。该方法采用常压化学气相沉积法，以SiH4和TiCl4为反应物前体，以N2为稀释气体和保护气氛。在玻璃基板上先形成金属硅化物膜层，然后在金属硅化物膜层上形成硅化物纳米钉。该方法对设备要求低，但产量大，效率高。而现有物理气相沉积方法还未制备出金属硅化物纳米钉；没有使用模板和催化剂，快速大量的生成了单晶的硅化钛纳米钉；通过对制备条件改变，可得到各种形貌的纳米钉；通过对制备反应物摩尔比的改变，可得到各种化学组成的纳米钉。 | ||
| 搜索关键词： | 常压 化学 沉积 法制 硅化钛 纳米 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种常压化学气相沉积法制备的硅化钛纳米钉，其特征在于：包括纳米线体(3)和纳米钉头(1)；在纳米线体(3)的一端设有纳米钉头(1)，纳米线体(3)一端与纳米钉头(1)通过过渡区(2)相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610050490.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
