[发明专利]一种废硅料清洗方法无效
| 申请号： | 200610050726.1 | 申请日： | 2006-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1947870A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 吴云才 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/04;C23G1/14;C23G1/24 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 | 代理人： | 徐关寿 |
| 地址： | 314117浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体材料清洗处理技术领域，特别涉及对废硅料去除表面污物的废硅料清洗方法，包括下列步骤：(1)硅料投放于碱液中浸泡；(2)待碱液中硅料上浮时，捞取硅料，用纯水冲洗并沥干；(3)投放于第二个碱液中浸泡；(4)待碱液中硅料上浮时，捞取硅料，用纯水冲洗并沥干；(5)投放于盐酸、过氧化氢的混合溶液中浸泡，压缩空气鼓泡；(6)将中和液中浸泡的硅料投放于纯水中浸泡，捞取并烘干。经本发明清洗后的废硅料完全清除了硅料表层的污染物，清洗过的废硅料符合制作半导体元器件的清洁要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 废硅料 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1、一种废硅料清洗方法，其特征在于：包括下列步骤：(1)硅料投放于碱液中浸泡；(2)待碱液中硅料上浮时，捞取硅料，用纯水冲洗并沥干；(3)投放于第二个碱液中浸泡；(4)待碱液中硅料上浮时，捞取硅料，用纯水冲洗并沥干；(5)投放于盐酸、过氧化氢的混合溶液中浸泡，压缩空气鼓泡；(6)将中和液中浸泡的硅料投放于纯水中浸泡，捞取并烘干。
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