[发明专利]电阻温度系数可调的电阻器及其制造方法

摘要

本发明涉及并入集成电路的可调TCR电阻器和一种可调TCR电阻器的制造方法。这些可调TCR电阻器包括两种或更多种不同材料的两个或更多个电阻器，这些材料具有相反极性和不同大小的TCR、具有相同极性和不同大小的TCR或具有相反极性和大约相同大小的TCR。

主权项

1、一种结构，包括：包含第一材料的第一电阻器，所述第一材料具有第一电阻温度系数，所述第一电阻器在集成电路的第一中间介电层内；以及包含第二材料的第二电阻器，所述第二材料具有第二电阻温度系数，所述第二电阻温度系数不同于所述第一电阻温度系数，所述第二电阻器在所述集成电路的所述第一中间介电层内或所述集成电路的第二中间介电层内，所述第一电阻器和所述第二电阻器通过在所述第一或所述第一和第二介电层内形成的布线彼此电连接并与电压源电耦合，所述布线具有小于所述第一和第二电阻器的电阻。