[发明专利]高压液喷射式切断装置以及高压液喷射式切断方法

摘要

本发明提供能够矫正在切断第一切断线群时产生的被加工物的变形、可以准确地切断第二切断线群的高压液喷射式切断装置。该高压液喷射式切断装置，在切断完被加工物(35)的第一切断线群后，将被加工物(35)载置在被加工物保持机构(200)上，在进行第二切断线群的切断加工时，通过使高压液喷射机构相对于被加工物保持机构(200)、在同一个X轴方向位置上只在Y轴方向上进行相对移动，以此切断第二切断线群。该高压液喷射式切断装置具有推出部件(220)、定位部件(230)和输送机构(250)，所述推出部件(220)将被加工物(35)向X轴方向推出；所述定位部件(230)抵住被推出部件(220)推出的被加工物(35)，将该被加工物(35)卡定在规定位置上；所述输送机构(250)使第二切断线(359)被切断并分割成基片状的被加工物(35)向Y轴方向移动。

主权项

1.一种高压液喷射式切断装置，为了：利用从高压液喷射机构喷射的高压液，切断由向被加工物的规定方向延伸的多条第一切断线构成的第一切断线群，然后，切断由与上述第一切断线群垂直的多条第二切断线构成的第二切断线群，以此将上述被加工物分割成多个基片，而在切断上述被加工物的上述第一切断线群后，将上述被加工物载置在被加工物保持机构上，至少在进行上述第二切断线群的切断加工时，使上述高压液喷射机构相对于上述被加工物保持机构、在相同的X轴方向位置上只向Y轴方向相对移动，以此切断上述被加工物的上述第二切断线群，其特征在于，在被加工物保持机构上具有推出部件、定位部件和输送机构，上述推出部件将上述被加工物向X轴方向推出；上述定位部件抵住被上述推出部件推出的上述被加工物，将该被加工物卡定在上述被加工物保持机构上的规定位置上；上述输送机构使切断上述第二切断线、被分割成基片状的上述被加工物向Y轴方向移动。