[发明专利]除静电方法、除静电装置及基板的防静电方法及其装置无效

专利信息
申请号: 200610054726.9 申请日: 2006-03-02
公开(公告)号: CN1835653A 公开(公告)日: 2006-09-20
发明(设计)人: 细川好则;冈本茂雄;益田真之;小泉治幸 申请(专利权)人: 欧姆龙株式会社
主分类号: H05F3/06 分类号: H05F3/06;H05F3/04;H01T19/04;H01T23/00;G02F1/133
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 高龙鑫;王玉双
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种以简单高效的方式对绝缘体实行有效的除静电的除静电方法和除静电装置。其设置有对绝缘体(10)的正面从垂直方向照射硬X射线的硬X射线发生装置(5)。硬X射线发生装置(5)照射大于等于0.05且小于1的硬X射线。硬X射线离子化绝缘体(10)正面的空气来对绝缘体(10)正面的电荷进行除静电的同时,透过绝缘体(10)的透过X射线对绝缘体(10)背面的电荷进行除静电。
搜索关键词: 静电 方法 装置 及其
【主权项】:
1.一种除静电方法,其特征在于,对带有静电的除静电对象物直接照射波长大于等于0.05且小于1的硬X射线。
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