[发明专利]基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置无效
| 申请号： | 200610057056.6 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1834630A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 片畑隆敏;和田洋贵;森谷俊洋;清水敦;仲岛晶 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01R31/30;G05B19/418;G06F17/00;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 基板检查装置及其检查逻辑设定方法和检查逻辑设定装置。本发明的课题是提供一种可以由较少的样本图像而生成在基板检查装置中的基板检查中使用的检查逻辑的技术。作为解决手段，信息处理装置在生成新部件的检查逻辑时，取得所述新部件的拍摄图像；根据所述新部件的拍摄图像而算出表示关注区域的颜色分布趋势的颜色分布趋势数据；分别针对多种过去部件取得颜色分布趋势数据，通过比较与所述新部件相关的颜色分布趋势数据和与所述过去部件相关的颜色分布趋势数据，来选出颜色分布趋势类似的过去部件，从存储装置中读出所选出的过去部件的拍摄图像，并将所述新部件的拍摄图像和所述过去部件的拍摄图像作为训练数据，来生成所述新部件的检查逻辑。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 及其 逻辑 设定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种生成与新部件相关的检查逻辑的方法，在通过检查基板安装部件的拍摄图像中的关注区域的颜色来判断所述部件的安装状态的良否的基板检查中使用，其特征在于，包括以下步骤：把过去处理的部件的拍摄图像存储在存储装置中；取得所述新部件的拍摄图像；根据所述新部件的拍摄图像，算出表示关注区域的颜色分布的趋势的颜色分布趋势数据；分别针对多个种类的过去部件取得颜色分布趋势数据；通过比较与所述新部件相关的颜色分布趋势数据和与所述过去部件相关的颜色分布趋势数据，来选出颜色分布趋势类似的过去部件；从存储所述过去部件的拍摄图像的存储装置中读出所述选出的过去部件的拍摄图像；以及将所述新部件的拍摄图像和所述读出的过去部件的拍摄图像作为训练数据，来生成与所述新部件相关的检查逻辑。
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