[发明专利]激光加工装置

摘要

提供一种激光加工装置，能够有效地利用激光振荡器并能够加工多种工件。可将分束器置于与激光束相干涉的工作位置以及不与该激光束相干涉的待用位置。可将全反射镜置于反射位置以及不与反射束相干涉的闪路位置，在所述反射位置，反射激光束的光轴变成与在由另一全反射镜反射时入射到又一全反射镜上的另一反射束同轴。当将所述激光束馈送到两个加工头中的任何一个时，将所述分束器置于所述待用位置并将所述全反射镜置于所述反射位置。为同时将所述激光束馈送到所有两个加工头，将所述分束器置于所述工作位置并将所述全反射镜置于所述闪路位置。

主权项

1.一种激光加工装置，包括：激光振荡器；光路径偏转装置，用于使从所述激光振荡器输出的激光束沿第一方向或沿自所述第一方向偏转预定角度的第二方向输出；第一和第二激光照射部分；第一光学系统，用于将自所述光路径偏转装置沿所述第一方向输出的所述激光束引导至所述第一激光照射部分；第二光学系统，用于将自所述光路径偏转装置沿所述第二方向输出的所述激光束引导至所述第二激光照射部分；其中所述光路径偏转装置选择将由所述激光振荡器输出的所述激光束馈送到所述两个激光照射部分中的任一个；所述激光加工装置，还包括：分束器，用于将所述入射激光束分成如下两路并输出：第一分路激光束，其光轴与所述入射激光束的光轴同轴，以及第二分路激光束，其光轴与所述入射激光束的光轴相交；移动装置，用于在以下两个位置之间移动所述分束器：与由所述激光振荡器输出的所述激光束的光轴交叉的工作位置，和自所述激光振荡器和所述光路径偏转装置之间的所述激光束的光轴偏离的待用位置；以及第三光学系统，用于将从置于所述工作位置的所述分束器分路得来的所述第二分路激光引导至由所述光路径偏转装置选择的所述第二光学系统的所述激光照射部分，而不馈送所述第一分路激光；其中，可作出选择是否将所述激光束馈送到所述两个激光照射部分的一个或两个。