[发明专利]利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法无效
| 申请号： | 200610057490.4 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN101037783A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 周慧英;曲胜春;徐波;张春林;王占国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C25D11/04 | 分类号： | C25D11/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法，其特征在于，包含下列步骤：1)取一衬底；2)在衬底上蒸镀金属铝膜；3)将蒸镀有金属铝膜的衬底固定在阳极氧化浴槽装置中；4)蒸镀有金属铝膜的衬底在阳极氧化浴槽中的电解液中阳极氧化；5)再将氧化后的衬底放入磷酸溶液中腐蚀、扩孔，形成有序的阳极氧化铝通孔模板。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 阳极 氧化 制备 有序 氧化铝 模板 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法，其特征在于，包含下列步骤：1)取一衬底；2)在衬底上蒸镀金属铝膜；3)将蒸镀有金属铝膜的衬底固定在阳极氧化浴槽装置中；4)蒸镀有金属铝膜的衬底在阳极氧化浴槽中的电解液中阳极氧化；5)再将氧化后的衬底放入磷酸溶液中腐蚀、扩孔，形成有序的阳极氧化铝通孔模板。
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