[发明专利]接合垫结构及其形成方法

摘要

本发明提供一种接合垫结构及其形成方法。所述接合垫结构，其包括一顶部介层窗图案。顶部介层窗图案具有至少一第一介层窗组以及与其相邻的至少一第二介层窗组。第一介层窗组具有朝一第一方向延伸的至少两个线型介层窗，而第二介层窗组具有朝不同于第一方向的一第二方向延伸的至少两个线型介层窗。第一介层窗组的线型介层窗不与第二介层窗组的线型介层窗相交。本发明所述接合垫结构及其形成方法，可避免在线型介层窗相交之处具有不良的覆盖率，进而改善可靠度、接合度以及品质控制。

主权项

1.一种接合垫结构，其特征在于，所述接合垫结构包括：一第一金属层；一第二金属层，位于该第一金属层上方；一介电层，位于该第一金属层与该第二金属层之间；以及一金属介层窗图案，设置于该介电层中，且电性连接至该第一金属层与该第二金属层，其中该金属介层窗图案包括至少一第一介层窗组以及与其相邻的至少一第二介层窗组；其中该第一介层窗组包括朝一第一方向延伸的至少两个第一线型介层窗，而该第二介层窗组包括朝不同于该第一方向的一第二方向延伸的至少两个第二线型介层窗，且该第一线型介层窗不与该第二线型介层窗相交。