[发明专利]固定探针板的机构无效
| 申请号： | 200610057729.8 | 申请日： | 2003-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1821791A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 米泽俊裕 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可抑制因探针板(11)的热变形引起的应力，并抑制测试探头(11A)向上下方向移动，从而提高检测可靠性的固定探针板(11)的机构(10)，利用探针板(11)和支承框架(12)的轴心周围由多个第1紧固件(16A)连接。利用多个第2紧固件(16B)，将支承框架(12)的外周边缘连接固定在测试装置的夹具(13)上。探针板(11)的中心区域受第1紧固件(16A)拘束，其外周边缘不受拘束而自由地用机构(10)保持，因此，探针板(11)即使在高温下热膨胀，也可防止其向外周边缘膨胀变形为圆顶形。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 探针 机构 | ||
【主权项】：
1.一种夹具，其特征在于，形成有与待测体进行电接触的探针板的多个探头所面临的开口部，所述夹具在将所述探针板安装在测试装置上时使用，所述夹具在圆周方向上隔开规定间隔地设置多个从所述开口部的开口端向外周端延伸的切深部。
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