[发明专利]用于干涉仪非线性补偿的系统和方法无效
| 申请号： | 200610057744.2 | 申请日： | 2006-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1873368A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 戴维·C·楚;李·C·卡勒姆;威廉·柯雷·施鲁赫特尔 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于对从测量信号中生成的干涉仪位置数据进行非线性补偿的方法，包括基于接收到的数字位置值来生成第一组非线性参数。该方法包括感知是否存在低速状况。如果存在低速状况，则基于估计出的测量信号的幅度来更新非线性参数中的第一个。如果存在低速状况，则基于更新后的非线性参数来补偿至少一个数字位置值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 干涉仪 非线性 补偿 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于对从测量信号中生成的干涉仪位置数据进行非线性补偿的方法，该方法包括：基于接收到的数字位置值来生成第一组非线性参数；感知是否存在低速状况；如果存在所述低速状况，则基于测量出的所述测量信号的幅度来更新所述非线性参数中的第一个；以及如果存在所述低速状况，则基于所述更新后的非线性参数来补偿至少一个数字位置值。
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