[发明专利]氟酸的回收方法

摘要

本发明提供一种通过蒸馏法，从玻璃基板的蚀刻工序等排出的氟酸废液回收精制氟酸的分批处理方式的氟酸的回收方法，其不产生水垢，可以以高收率回收杂质更少的精制氟酸，可简化装置。在氟酸的回收方法中，通过利用蒸发釜(1)加热氟酸废液，将粗氟酸作为蒸气取出，同时回收利用蒸馏塔(2)蒸馏的馏出液的操作，在馏出液的氟化氢浓度在回收水上限浓度以下时，将该馏出液作为回收水回收；在馏出液的氟化氢浓度高于回收水上限浓度且小于氟酸回收浓度时，将该馏出液作为中间液回收；在馏出液的氟化氢浓度大于氟酸回收浓度时，将该馏出液作为精制氟酸回收。其中，在蒸馏塔(2)的氟酸废液中添加抑制金属成分析出的足量的硫酸。

主权项

1.一种氟酸的回收方法，是通过蒸馏法，从含有金属成分的氟酸废液中回收规定浓度的精制氟酸的分批处理方式的氟酸的回收方法，其特征在于，通过利用蒸发釜加热氟酸废液，将粗氟酸作为蒸气取出，同时回收利用蒸馏塔蒸馏粗氟酸的馏出液的操作，当馏出液的氟化氢浓度在回收水上限浓度以下时，将该馏出液作为回收水回收，且塔底液返回蒸发釜中；当馏出液的氟化氢浓度高于回收水上限浓度且小于氟酸回收浓度时，将该馏出液作为中间液回收；当馏出液的氟化氢浓度在氟酸回收浓度以上时，将该馏出液作为精制氟酸回收，且在加热蒸发釜的氟酸废液时，在该氟酸废液中添加抑制金属成分析出的析出的足量的硫酸。