[发明专利]扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 200610058365.5 | 申请日： | 2006-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN1831513A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 大田昌弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描探针显微镜，它根据观察对象或观察目的，无需交换扫描仪，在维持高分辨率的状态下，可进行微小范围至广域的观察。该扫描探针显微镜中，设有使探针13在X－Y－Z轴方向上移动的探针侧扫描仪10与使样品12在X－Y－Z轴方向上移动的样品侧扫描仪11这两个扫描仪。使用最大扫描范围较小的扫描仪作为探针侧扫描仪10，使用最大扫描范围较大的扫描仪作为样品侧扫描仪11，并根据观察对象或观察目的掉换二者而使用。或者，利用探针侧扫描仪10进行微小范围的扫描，并且通过样品侧扫描仪11使观察视野移动。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种扫描探针显微镜，其通过微小探针扫描样品表面，以此检测样品表面的三维形状或物理量，其特征在于具有：a)探针移动机构，其使探针在X-Y-Z轴方向上移动；以及b)样品移动机构，其使样品在X-Y-Z轴方向上移动。
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