[发明专利]制备具有高分散稳定性的抛光浆料的方法无效
| 申请号： | 200610058484.0 | 申请日： | 2006-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1840602A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 赵允珠;李鳞渊;田勋秀;洪德泳;金兑映;李相益;朴恩敬 | 申请（专利权）人： | 三星康宁株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;李友佳 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制备抛光浆料的改进方法，该方法包括：将抛光颗粒和阴离子聚合酸分散在水中；然后按抛光颗粒的重量份数为100份计将以重量份数为0.1到8份的量的碱性材料添加到所得分散体系中。通过本发明方法得到的抛光浆料显示出了良好的分散稳定性和非－Prestonian抛光性能，这能有益地用在各种精密电子器件的化学机械抛光中。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 具有 分散 稳定性 抛光 浆料 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于制备抛光浆料的方法，所述方法包括的步骤为：(a)将抛光颗粒和阴离子聚合酸分散剂分散在水中；(b)按所述抛光颗粒的重量份数为100份计将以重量份数为0.1到8份的量的碱性材料添加到所得分散体系中。
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