[发明专利]切削悬浮液回收的方法无效
| 申请号： | 200610058747.8 | 申请日： | 2006-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101032806A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 张捷平 | 申请（专利权）人： | 张捷平 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种切削废悬浮液回收的方法，其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理，包括如下步骤：固液分离、悬浮液的初级过滤、悬浮液的精滤、悬浮液的浓缩干燥。本发明的方法使回收的聚乙二醇(PEG)基或油基悬浮液达到与全新原料相同或相近的性能指标，并满足硅晶切片工序的使用要求，可完全替代新料的回收方法，通过该方法可以实现同一批料多次回收循环再利用的目的，不仅最大限度地提高了原材料的使用效率，降低了硅片的生产成本，而且避免了废砂浆排放给环境造成的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 切削 悬浮液 回收 方法 | ||
【主权项】：
1、一种切削废悬浮液回收的方法，其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理，包括如下步骤：固液分离、悬浮液的初级过滤、悬浮液的精滤、悬浮液的浓缩干燥。
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