[发明专利]精制环硼氮烷化合物的制备方法、充填方法和保存用容器无效
申请号: | 200610059904.7 | 申请日: | 2006-01-28 |
公开(公告)号: | CN1919849A | 公开(公告)日: | 2007-02-28 |
发明(设计)人: | 山本哲也;中谷泰隆;原田弘子 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本触媒 |
主分类号: | C07F5/05 | 分类号: | C07F5/05;H01L23/08 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 郭煜;邹雪梅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 制备精制环硼氮烷化合物时,在水分含量为2000体积ppm以下的环境条件下过滤环硼氮烷化合物。或者,在容器中充填环硼氮烷化合物时,在水分含量为2000体积ppm以下的环境条件下,在上述容器中充填上述环硼氮烷化合物。或者,使用具有0.1MPa或以上的耐压压力的环硼氮烷化合物保存容器作为保存环硼氮烷化合物的保存容器。 | ||
搜索关键词: | 精制 环硼氮烷 化合物 制备 方法 充填 保存 容器 | ||
【主权项】:
1.精制环硼氮烷化合物的制备方法,其中,包括准备环硼氮烷化合物的环硼氮烷化合物准备阶段;以及将准备的所述环硼氮烷化合物在水分含量为2000体积ppm以下的环境条件下过滤的过滤阶段。
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