[发明专利]去除类金刚石碳膜的方法有效
申请号: | 200610060393.0 | 申请日: | 2006-04-19 |
公开(公告)号: | CN101058894A | 公开(公告)日: | 2007-10-24 |
发明(设计)人: | 萧博元 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C25F1/04 | 分类号: | C25F1/04;C25F5/00 |
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地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种去除工件表面类金刚石碳膜的方法。所述方法包括以下步骤:以所述工件为阳极在酸性溶液中进行电解直至所述类金刚石碳膜脱落。所述的去除工件表面类金刚石碳膜的方法操作简单,成本低廉,可轻易将工件表面的类金刚石碳膜去除。 | ||
搜索关键词: | 去除 金刚石 方法 | ||
【主权项】:
1.一种去除工件表面类金刚石碳膜的方法,所述类金刚石碳膜包括不含氢的类金刚石碳膜及形成在不含氢的类金刚石碳膜上的含氢类金刚石碳膜,所述方法包括以下步骤:以所述工件为阳极在酸性溶液中进行电解直至所述类金刚石碳膜脱落。
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