[发明专利]碳纳米管膜的生长装置及方法在审
申请号: | 200610061239.5 | 申请日: | 2006-06-21 |
公开(公告)号: | CN101092234A | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
发明(设计)人: | 刘长洪;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种碳纳米管膜的生长装置,其包括一反应室及一基底,该基底呈弯曲状设置于反应室内。本发明同时提供一种利用上述装置生长碳纳米管膜的方法。本发明所提供的碳纳米管膜的生长技术,与现有技术相比,采用弯曲状基底作为碳纳米管膜生长的载体,使得一定容量空间的反应室内可容纳更大面积的基底,从而实现碳纳米管膜在较小反应室内的大面积生长,这样可降低大面积的制备碳纳米管膜所需设备的成本。 | ||
搜索关键词: | 纳米 生长 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种碳纳米管膜的生长装置,其包括一反应室,一基底设置于该反应室内,其特征在于,该基底呈弯曲状设置于反应室内。
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