[发明专利]同时电解再生酸性蚀刻液和微蚀液的方法有效
| 申请号： | 200610062086.6 | 申请日： | 2006-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN1966773A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 刘景亮 | 申请（专利权）人： | 刘景亮 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12 |
| 代理公司： | 深圳睿智专利事务所 | 代理人： | 陈鸿荫 |
| 地址： | 518057广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种同时电解再生酸性蚀刻液和微蚀液的方法，电解槽用阳离子交换膜将阳极室(11)和阴极室(12)隔开；将酸性蚀刻液贮液槽(17)和阴极室(12)连通，酸性蚀刻液包括盐酸和氯化铜；将微蚀液贮液槽(16)和阳极室(11)连通，微蚀液包括过硫酸铵和硫酸；进行电解反应时，在阳极室(11)中经过微蚀反应形成的硫酸铵被氧化再生成过硫酸铵，同时其中的二价铜离子穿越阳离子交换膜进入阴极室(12)；在阴极室(12)中经过蚀刻反应形成的一价铜离子优先在阴极(14)还原成金属铜，同时二价铜离子返回至酸性蚀刻液贮液槽(17)中。本发明的技术效果在于：阳极电能充分利用；充分利用铜资源，不产生污染和浪费；使微蚀和蚀刻的质量都大为提高等。 | ||
| 搜索关键词： | 同时 电解 再生 酸性 蚀刻 微蚀液 方法 | ||
【主权项】：
1.一种同时电解再生酸性蚀刻液和微蚀液的方法，包括在耐酸材料制成的电解槽中，用阳离子交换膜将阳极室(11)和阴极室(12)隔开；将酸性蚀刻液贮液槽(17)和所述阴极室(12)连通，所述酸性蚀刻液包括盐酸和氯化铜；其特征在于：将微蚀液贮液槽(16)和阳极室(11)连通，所述微蚀液包括过硫酸铵和硫酸；进行电解反应时，在阳极室(11)中，经过微蚀反应形成的硫酸铵被氧化成过硫酸铵后，返回至微蚀液贮液槽(16)中，同时二价铜离子穿越阳离子交换膜进入阴极室(12)；在阴极室(12)中，经过蚀刻反应形成的一价铜离子优先在阴极(14)还原成金属铜，同时二价铜离子返回至酸性蚀刻液贮液槽(17)中。
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