[发明专利]从衬底分离部件的方法无效
| 申请号： | 200610063907.8 | 申请日： | 2006-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1974165A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | J·贝辛尔 | 申请（专利权）人： | 肖特股份公司 |
| 主分类号： | B28D1/00 | 分类号： | B28D1/00;B28D7/04;B28D5/00;B24B1/04;B24C1/00;H01L21/00;H01L21/48 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张祖昌 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于从板型衬底(20)制造多个部件(30)的改进的方法，包括步骤：从固定在第一真空板(3)上的板型衬底(20)横向地分离部件(30)；在第一真空板(3)上抽吸部件(30)，和从第一真空板(3)上分离分离的部件(30)。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 分离 部件 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于从板型衬底(20)制造多个部件(30)或者用于制造打孔的板型衬底的方法，包括步骤：从固定在第一真空板(3)上的板型衬底(20)横向地分离部件(30)；在第一真空板(3)上抽吸部件(30)，和从第一真空板(3)上分开被分离的部件(30)。
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