[发明专利]标记形成方法及液滴喷出装置

摘要

一种标记形成方法，从喷嘴向基板表面的目标喷出位置沿喷出方向喷出液滴。从激光头的照射口向所述目标喷出位置沿照射方向发射激光。以目标喷出位置为转动中心同时使喷嘴和照射口转动，由此，在维持所述喷出方向和所述照射方向的形成角度的状态下，同时改变相对所述对象物表面的法线和所述喷出方向的形成角度及所述法线和所述照射方向的形成角度。由此，能够改变激光的照射角度，同时维持激光的位置精度。

主权项

1、一种标记形成方法，具有：从喷嘴向对象物表面的目标喷出位置沿喷出方向喷出液滴的步骤；从照射口向所述目标喷出位置沿照射方向照射激光，即通过对着落于所述表面的所述液滴照射激光，而在所述表面上形成标记的步骤，所述标记形成方法的特征在于，以所述目标喷出位置为转动中心使所述喷嘴和所述照射口一起转动，由此，在维持所述喷出方向和所述照射方向所成角度的状态下，一起改变相对所述对象物表面的法线和所述喷出方向形成的角度、及所述法线和所述照射方向形成的角度。