[发明专利]微器件的触点无效
| 申请号： | 200610064200.9 | 申请日： | 2006-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1996578A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | F·G·C·比杰南;W·D·维恩尼克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L23/482;H01L23/488;H01L23/50;H01L23/04;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;黄力行 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供具有接触凸块的微器件以及制造该微器件的方法，其中微器件例如是集成电路。该微器件在该微器件两侧或多侧上具有接触凸块。本发明还提供叠置式微器件。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 触点 | ||
【主权项】：
1、一种具有至少两侧的微器件，所述两侧具有接触凸块。
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