[发明专利]具有基板加热功能的基板载放机构有效
| 申请号： | 200610065006.2 | 申请日： | 2006-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1835649A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 小松智仁 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/20 | 分类号： | H05B3/20;H01L21/205;H01L21/00;H05K3/00;H05K13/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种设置在基板处理装置的处理容器内的基板载放机构，其特征在于包括：载放台，具有将基板载放在其上面的基体、用于对载放在该基体上的基板进行加热的发热体、和给该发热体供电用的供电端子部；固定在所述处理容器的底座上且支承所述载放台的中空支承部件；固定在所述支承部件下方的所述处理容器底座上，并且与设置在所述处理容器外部的电源连接的连接端子部；与所述供电端子部连接并且在所述支承部件内部延伸的供电部件；和连接所述供电部件与所述连接端子部的弹簧部件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 加热 功能 基板载放 机构 | ||
【主权项】：
1.一种基板载放机构，其特征在于：被设置在基板处理装置的处理容器内，包括：载放台，具有将基板载放在其上面的基体、用于对载放在该基体上的基板进行加热的发热体、和给该发热体供电用的供电端子部；固定在所述处理容器的底座上，并且支承所述载放台的中空支承部件；固定在所述支承部件下方的所述处理容器底座上，并且与设置在所述处理容器外部的电源连接的连接端子部；与所述供电端子部连接，并且在所述支承部件内部延伸的供电部件；和连接所述供电部件与所述连接端子部的弹簧部件。
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