[发明专利]水冷等离子淋浴器

摘要

本发明提供一种等离子淋浴器，能够产生中和用电子，用于在离子注入工艺中，在被注入晶片上产生的静电积累进行中和，提高离子注入工艺的性能，消除静电积累对注入晶片的危害。

主权项

1.水冷等离子淋浴器，其特征在于，包括下列部件：引出极板(1)，灯丝装夹机构(2)，灯丝(3)，送气管路(4)，灯丝引线机构(5)，法兰绝缘垫(6)，法兰(7)，导水长管(8)，水冷支架(9)，两瓷绝缘柱子(10)，屏蔽罩(11)，两磁铁(12)，两磁铁安装板(13)；所述的水冷支架(9)底部的通孔、灯丝装夹机构(2)和引出极板(1)共同围成一个放电工作空间称为放电弧室(14)；所述的引出极板(1)，安装在放电弧室的顶端面，正中有一圆孔，是等离子淋浴器的等离子出口；所述的灯丝装夹机构(2)，装夹有灯丝(3)、灯丝装夹的夹杆和螺母及绝缘块，用于灯丝与水冷支架(9)之间的绝缘安装；所述的送气管路(4)连接从法兰(7)到水冷支架(9)的顶部的弧放电通孔，用于从送气系统往放电弧室(14)内送入工作气体；所述的灯丝引线机构(5)，一端与灯丝(3)相连，另一端穿过法兰(7)与灯丝电源相连；所述的法兰绝缘垫(6)是离子淋浴器的整体安装绝缘垫，一面与法兰(7)接触，另一面与设备安装面接触；所述的法兰(7)用于固定水冷支架(9)和灯丝引线机构(5)以及送气管路(4)；所述的导水长管(8)通过卡套接头与水冷支架(9)连接，将冷却水送到水冷支架(9)底部的放电弧室附近，以冷却放电弧室腔体；所述的水冷支架(9)顶部设计有弧放电通孔，在支架的长杆内开有从外端一直到弧放电通孔附近的通水孔，用以导通冷却水，灯丝装夹机构(2)，送气管路(4)，灯丝引线机构(5)和法兰(7)都装配在其上；所述的绝缘瓷柱子(10)用来在水冷支架(9)上绝缘并固定灯丝引线机构(5)；所述的屏蔽罩(11)两侧安装有厚度方向磁化的永久磁铁(12)；所述的磁铁(12)通过磁铁安装板(13)安装在水冷支架(9)顶部弧放电通孔的两侧。