[发明专利]用于供应功能水的系统和方法有效
| 申请号： | 200610065512.1 | 申请日： | 2006-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1834526A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 金柱元;安斗根;崔光一;郑平淳;崔勇男;裵正龙 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08;F17D3/01;F17D3/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种用于将功能水提供至处理单元的供应系统，该处理单元使用所述功能水来处理衬底。在该系统中，在功能水生成器中生成的功能水通过功能水输送管提供至分配器。之后，在处理单元执行处理时，将功能水提供至处理单元，而在处理单元未执行处理时，功能水通过功能水回流管返回至功能水生成器。在功能水输送管中安装有缓冲罐，功能水的浓度在与缓冲罐相连的循环管路中进行测量。当所测量的功能水浓度未处于设定的浓度范围内时，功能水通过功能水回流管返回至功能水生成器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 供应 功能 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于将功能水提供至处理单元的供应系统，所述处理单元使用所述功能水来处理衬底，所述系统包括：功能水生成器，生成所述功能水；功能水输送管，将所述功能水生成器中生成的所述功能水提供至所述处理单元；缓冲罐，与所述功能水输送管相连，用于存储所述功能水生成器中生成的所述功能水；浓度计，测量所述缓冲罐所接纳的所述功能水中溶解的气体浓度；以及功能水回流管，当所述缓冲罐所接纳的所述功能水中溶解的所述气体浓度未处于设定的浓度范围内时，使所述缓冲罐中的所述功能水返回至所述功能水生成器。
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