[发明专利]等离子体处理装置、狭缝天线和等离子体处理方法

摘要

本发明提供利用液体的冷却介质冷却电介质的等离子体处理装置、狭缝天线以及等离子体处理方法。微波等离子体处理装置(100)由处理容器(10)、导波管(22)、狭缝天线(23)、电介质(24)、第一冷却部(60)和第二冷却部(80)构成。第一冷却部(60)通过使液体的冷却介质在设在狭缝天线(23)上的流路(61)中流动，冷却电介质(24)。此外，第二冷却部(80)通过使气体从设在导波管(22)上的气体入口流到气体出口，冷却电介质(24)。由此，通过一边冷却电介质(24)，一边利用经由导波管(22)、狭缝天线(23)而透过电介质(24)的微波使处理气体等离子体化，由此基板(W)被等离子体处理。结果，在等离子体处理中可以防止电介质(24)上产生裂纹。

主权项

1.一种等离子体处理装置，具有：传播微波的导波部；使在所述导波部中传播的微波透过的电介质；和利用透过所述电介质的微波使处理气体等离子体化，对基板进行等离子体处理的处理容器，其特征在于：具有利用液体的冷却介质冷却所述电介质的第一冷却部。