[发明专利]一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法有效
| 申请号： | 200610065676.4 | 申请日： | 2006-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN1821446A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | 季静佳;覃榆森;施正荣 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;H01L21/461 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 214028江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法，所述溶液为由氧化剂和氢氟酸溶液混合制成，所述氧化剂为硝酸盐或亚硝酸盐。所述使用方法具体为：将切割成的多晶硅片放入酸腐蚀溶液中进行腐蚀反应，反应时间为30秒－20分钟，酸腐蚀溶液的温度为－10℃－25℃，所述反应时间、酸腐蚀溶液的温度与酸腐蚀溶液中氧化剂和氢氟酸的浓度相协调，以达到去除由线切割多晶硅而产生的损伤层的目的。采用本发明酸腐蚀溶液进行多晶硅绒面的制备，既适用于间隙操作的大规模生产，也适用于连续操作的大规模生产，同时生产中产生的废酸很容易处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 多晶 硅绒面 酸腐 溶液 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液，该酸腐蚀溶液为由氧化剂和氢氟酸溶液混合制成，其特征在于，所述氧化剂为硝酸盐或亚硝酸盐。
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