[发明专利]缺陷检查方法无效
| 申请号： | 200610066000.7 | 申请日： | 2006-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1841054A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 钟江健司 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过利用能量束照射待检查的衬底，获得从待检查的衬底反射的能量束作为数字图像信号。当获得的数字图像信号的强度超过阈值时，将该数字图像信号探测为缺陷。基于包括在数字图像信号中的噪声信号的最大强度，设定该阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检查方法，包括下列步骤：利用能量束照射待检查的衬底，以获得从所述待检查的衬底反射的所述能量束作为数字图像信号；以及当所述获得的数字图像信号的强度超过阈值时，将所述数字图像信号探测为缺陷，基于包括在所述数字图像信号中的噪声信号的最大强度，设定所述阈值。
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