[发明专利]曝光工作台以及曝光装置

摘要

一种曝光工作台，和能流畅地进行一系列作业且可提高基板品质的曝光装置，曝光工作台即使是较薄的基板也能够适当地吸附保持，且即使在基板周缘呈波浪状的状态下也能够进行保持，在基板的载置面因使用而磨损的情况下，也能以简单的结构进行更换等，保养作业性优良。该曝光工作台(7)包括：基板的载置板(8)；工作台主体(9)；设置在载置板上的多个吸附孔；连通通道，其形成于工作台主体并与吸附孔连通，吸附孔具有第一吸附孔(8a)和第二吸附孔(8b)，第二吸附孔形成为小于第一吸附孔的小孔(8b₁)，并形成为将多个小孔相邻地集合起来的吸附孔群，吸附孔群沿着基板的周缘的纵边和横边的至少一方，按规定间隔配置在预先设定的位置上。

主权项

1.一种曝光工作台，其在对矩形基板进行曝光时使用，其特征在于，包括：载置板，其用于载置上述基板；工作台主体，其支承该载置板；多个吸附孔，它们贯穿形成于上述载置板的与上述基板对置的位置，用于吸附保持该基板；连通通道，其以与上述吸附孔连通的方式形成于上述工作台主体，上述吸附孔具有第一吸附孔和第二吸附孔，上述第一吸附孔以预先设定的大小隔开规定间隔进行配置，上述第二吸附孔形成为将多个小孔相邻地集合起来的小孔群，而且上述小孔形成为小于上述第一吸附孔，并且，上述小孔群沿着上述基板周缘处的纵边和横边的至少一方，按规定间隔配置在预先设定的位置上，上述连通通道具有：与上述第一吸附孔连通的第一连通通道，和与上述第二吸附孔连通的第二连通通道。