[发明专利]真空设备的闸阀装置

摘要

一种真空设备的闸阀装置，架设在两个间隔的腔座间，包含：一个夹设在所述腔座间的基座、一转控机构，以及一个驱动机构，该基座包括两个分别设有一个阀口的阀壁，在所述阀壁间具有一个控制室，而该转控机构包括：一个可转动地架设在基座上的阀控转轴，以及一个和阀控转轴连动地结合并可往其中一个阀壁的内壁面贴靠的封闭板，上述封闭板具有一个面积大于阀口的贴合面，而该驱动机构可以驱动阀控转轴沿着一个封闭方向及一个开启方向转动。通过转控的方式来打开或关闭其中一个阀口，可以使闸阀装置在制造上更为容易。

主权项

1.一种真空设备的闸阀装置，其架设在真空设备的一第一腔座及一第二腔座间，包含：一个基座，以及一个架设在基座上的驱动机构，其中该基座包括；一片邻近第一腔座的第一阀壁、一片和第一阀壁间隔并邻近第二腔座的第二阀壁，以及两片衔接在所述阀壁间的侧壁，在所述阀壁及侧壁间界定出一控制室，上述第一阀壁具有一个朝向控制室的内壁面，以及一个通向该控制室的第一阀口，而该第二阀壁具有一个第二阀口；其特征在于：该闸阀装置还包含一个转控机构，上述转控机构包括一支可转动地架设在控制室内的阀控转轴，以及一和该阀控转轴连动地结合并可往第一阀壁的内壁面贴靠的封闭板，上述封闭板具有一个面积大于第一阀口的贴合面，而该驱动机构可驱动该阀控转轴从封闭方向向开启方向转动。