[发明专利]钻石基板及其制作方法无效
| 申请号： | 200610066355.6 | 申请日： | 2006-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101045356A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张孝国;黄仁烜;邓建中;钟至贤;王明辉 | 申请（专利权）人： | 中国砂轮企业股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B33/00 | 分类号： | B32B33/00;B32B18/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;徐金国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钻石基板及其制作方法，其钻石基板包括：一钻石膜层；及一保护层，形成于该钻石膜层的一面，以防止该钻石膜层产生翘曲变形。该方法包括：提供一基材；形成一钻石膜层与一保护层于该基材的上方，以该保护层防止该钻石膜层产生翘曲变形；及去除该基材。在气相化学反应方法成长钻石膜层的工艺中，利用在钻石膜层的一面形成保护层，借以减低钻石膜层的翘曲变形量，从而使钻石基板可达到产品工艺可容许的公差尺寸与变形量的范围内，更有助于钻石基板充分表现其优异的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 钻石 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种钻石基板，其特征在于，包括有：一钻石膜层；及一保护层，形成于该钻石膜层的一面，以防止该钻石膜层产生翘曲变形。
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