[发明专利]三维纳隙网格阵列微电极生物传感芯片

摘要

一种三维纳隙网格阵列微电极生物传感芯片，涉及微型分析芯片技术，是在绝缘基片上有一组金电极，电极上面覆盖一层纳米量级厚度的绝缘材料薄膜，绝缘材料上有一组与下面电极垂直交叉的电极，上下电极构成网格结构。上下电极交叉处及其周围的绝缘层被去掉，形成生物样品分析流动微型池。整个芯片上利用聚合物构成一个大的样品分析池。两个平面内的电极阵列可任意组合用于产生分离所需的电场，交叉点的上下电极构成纳米间隙阻抗测试传感器。本发明网格阵列式的纳隙微电极，可以对生物样品进行分离和可寻址的检测。

主权项

1、一种三维纳隙网格阵列微电极生物传感芯片，包括绝缘基片、金属微电极、绝缘层和样品池；其特征在于，在一个绝缘基片的上表面，固接一组平行排列的金属微电极组成的下电极阵列，在下电极阵列的上表面，固接一绝缘层，在绝缘层上表面，再固接第二组平行排列的金属微电极组成的上电极阵列；下电极阵列的平行方向，与上电极阵列的平行方向垂直正交，上、下电极阵列构成三维网格结构；在上电极阵列的上表面四周，以聚合物凸起围成一样品点样池，样品点样池的面积大于上、下电极阵列的面积；在上、下电极阵列的每个电极交叉处，于绝缘层内，以交叉处的交叉点为中心围成的特定区域设有生物样品分析微型池，分析微型池的底面为绝缘基片的上表面，数个生物样品分析微型池成阵列排列；分析微型池的上方中心线上裸露出上电极，池底中心线上裸露出下电极，上、下电极在池底的正投影为垂直正交；样品点样池底部与分析微型池相通连。