[发明专利]闸阀装置和处理系统

摘要

本发明提供一种简化构造本身而能够实现小型化和低成本化，且可维持高动作可靠性的闸阀装置。在安装到用于对被处理体(W)实施规定处理的处理室(4A～4D)的搬出搬入口(37)上，使被处理体从真空状态的搬运室(6)侧通过的同时对搬出搬入口进行开闭的闸阀装置(12A～12D)中，包括：能够以开闭搬出搬入口的方式而安装的阀体(52)；在阀体的两端部沿着阀体相对搬出搬入口的推压方向设置的阀体支撑杆(54)；以及凸轮机构(56)，其连接在阀体支撑杆上，用于按时间序列将向着与阀体支撑杆垂直相交方向的驱动力转换成阀体支撑杆向阀体推压方向的推进力和向着旋转阀体方向的旋转力。

主权项

1.一种闸阀装置，其特征在于：被安装在用于对被处理体实施规定处理的处理室的搬出搬入口上，在使所述被处理体从真空状态的搬运室一侧通过的同时，对所述搬出搬入口进行开闭，其中，所述闸阀装置包括：能够以开闭所述搬出搬入口的方式而安装的阀体；在所述阀体的两端部，沿着所述阀体对所述搬出搬入口的推压方向设置的规定长度的阀体支撑杆；和凸轮机构，连接在所述阀体支撑杆上，用于按时间序列将向着与所述阀体支撑杆垂直相交方向的驱动力转换成所述阀体支撑杆向着所述阀体推压方向的推进力和向着旋转所述阀体方向的旋转力。