[发明专利]磁掩模保持器无效
| 申请号： | 200610066679.X | 申请日： | 2006-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN1861833A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 迪特尔·曼茨 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 徐年康 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于特别大表面基板的掩模保持器，尤其涉及用于使用真空涂覆方法生产OLED屏幕、显示器等有机电致发光材料(OLED)的微结构，并带有用于在涂覆过程中接受基板(3)的基板运载装置(2)，该基板运载装置(2)包括一个或多个磁体(4)，并且，掩模(6)以磁性材料的框架(21)为特征，以便通过基板运载装置的磁体相对于将被涂覆的基板保持掩模的框架。 | ||
| 搜索关键词： | 磁掩模 保持 | ||
【主权项】：
1.一种用于大表面基板的掩模保持器，尤其用于使用真空涂覆方法生产OLED屏幕、显示器等有机电致发光材料(OLED)的微结构，并带有用于在涂覆过程中接受基板(3)的基板运载装置(2)，其特征在于，基板运载装置(2)包括在其背面上的一个或多个与基板接受区域相对的磁体，将这些磁体在基板运载装置上围绕基板接受区域的圆周或沿着基板接受区域彼此等距离地间隔开，并且，掩模(6)以框架(21)为特征，以便通过基板运载装置的磁体相对于将被涂覆的基板保持掩模的框架。
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