[发明专利]用于定位掩模的方法和装置无效
| 申请号： | 200610066680.2 | 申请日： | 2006-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN1854909A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 迪特尔·曼茨 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 徐年康 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于在将被涂覆的基板上布置/去除和对准掩模的装置和方法，涉及用于在任选的如屏幕、显示器等的大表面基板上的有机电致发光材料(OLED)的微结构，其中，在其上围绕着基板接受装置区域圆周地设置最少磁体的基板运载装置上设置基板，由利用第一移动装置可以在若干个方向上通过的保持组件上的电磁体保持掩模，确定掩模与基板彼此之间相对位置，通过致动移动装置使基板与掩模彼此对准，使掩模几乎平行地朝着基板移动，如果已经确定定向错误，通过用第一移动装置移动保持组件使掩模沉积在基板上，使掩模基本上垂直于基板移动，和/或利用第二移动装置沿掩模的方向移动基板运载装置，通过基板运载装置的磁体使电磁体解除致动并将掩模保持在基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 定位 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于在将被涂覆的基板上布置/去除和对准掩模的方法，尤其用于如屏幕、显示器之类的大表面基板上的有机电致发光材料(OLED)的微结构，并且，用于涂覆的基板被移动至真空涂覆室，其特征在于，在基板运载装置(2)上设置基板(3)，在其背面上围绕着基板接受装置区域圆周地设置磁体(4)，由通过第一移动装置可以若干个方向通过保持组件(8)上的电磁体(7)保持掩模(6)，确定掩模(6)与基板(3)彼此的相对位置，基板(3)与掩模(6)彼此对准，即，致动第一移动装置(5)，从而使掩模(6)相对于基板移动，如果已经确定定向错误，通过用第一移动装置移动保持组件(8)使掩模(6)沉积在基板上，从而使掩模基本上垂直于基板(3)移动，和/或用第二移动装置(18)使基板运载装置(2)沿掩模的方向移动，通过基板运载装置的磁体(4)使电磁体(7)解除致动并将掩模(6)保持在基板(3)上。
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