[发明专利]蒸发器装置无效
| 申请号： | 200610066685.5 | 申请日： | 2006-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN1904129A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | M·本德尔;U·霍夫曼;G·科勒姆;D·哈斯;U·英格勒特 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于涂覆衬底的蒸发器装置，特别用于在OLED上涂敷铝层。为了获得例如具有低蒸汽压的材料蒸发所要求的高的蒸发器管温度，加热系统被放到蒸发器管的内部。热损失因此最小化，以同样的接入加热功率可以获得更高的管温。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发器 装置 | ||
【主权项】：
1.用于涂覆衬底的蒸发器装置，包括具有线性分配器(30-33)以及加热系统的蒸发器(19，90)，其中将被蒸发的材料的表面在第一平面内延伸，其特征在于，所述线性分配器(30-33)设置在垂直于所述第一平面的第二平面内，而所述加热系统(22；60-62；78-80；102)设置在所述蒸发器(19，90)的内部。
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