[发明专利]气相沉积装置无效
申请号: | 200610066686.X | 申请日: | 2006-04-19 |
公开(公告)号: | CN1904130A | 公开(公告)日: | 2007-01-31 |
发明(设计)人: | M·本德尔;U·霍夫曼;G·科勒姆;D·哈斯;U·英格勒特 | 申请(专利权)人: | 应用薄膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/26 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵蓉民 |
地址: | 德国阿*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于衬底的气相沉积的蒸汽沉积装置,特别地,该衬底包括热敏物质,例如OLED。为了使热量远离这些物质,该蒸汽沉积装置包括具有专用喷嘴条的蒸发器管。这种喷嘴条包括若干线性布置的开口,并相对于蒸发器管以朝着要被涂布的衬底的方向突出。 | ||
搜索关键词: | 沉积 装置 | ||
【主权项】:
1.用于衬底气相沉积的具有蒸发器源(35)的气相沉积装置,其中将要被汽化的材料的表面基本垂直于地球重力的方向延伸,蒸发器室(17)置于所述蒸发器源(35)之上而且其纵向轴线平行于地球重力的方向延伸,其中所述蒸发器室(17)包括喷嘴条(18),该喷嘴条设置有若干线性排列的出口,所述喷嘴条(18)中的出口垂直于地球重力的方向延伸,所述气相沉积装置的特征在于,所述喷嘴条区域相对于所述汽化室(17)向前设置,该喷嘴条中设置出口(22)。
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