[发明专利]气相沉积装置无效

专利信息
申请号: 200610066686.X 申请日: 2006-04-19
公开(公告)号: CN1904130A 公开(公告)日: 2007-01-31
发明(设计)人: M·本德尔;U·霍夫曼;G·科勒姆;D·哈斯;U·英格勒特 申请(专利权)人: 应用薄膜有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/26
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 赵蓉民
地址: 德国阿*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种用于衬底的气相沉积的蒸汽沉积装置,特别地,该衬底包括热敏物质,例如OLED。为了使热量远离这些物质,该蒸汽沉积装置包括具有专用喷嘴条的蒸发器管。这种喷嘴条包括若干线性布置的开口,并相对于蒸发器管以朝着要被涂布的衬底的方向突出。
搜索关键词: 沉积 装置
【主权项】:
1.用于衬底气相沉积的具有蒸发器源(35)的气相沉积装置,其中将要被汽化的材料的表面基本垂直于地球重力的方向延伸,蒸发器室(17)置于所述蒸发器源(35)之上而且其纵向轴线平行于地球重力的方向延伸,其中所述蒸发器室(17)包括喷嘴条(18),该喷嘴条设置有若干线性排列的出口,所述喷嘴条(18)中的出口垂直于地球重力的方向延伸,所述气相沉积装置的特征在于,所述喷嘴条区域相对于所述汽化室(17)向前设置,该喷嘴条中设置出口(22)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用薄膜有限公司,未经应用薄膜有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200610066686.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code