[发明专利]涂敷装置及成膜装置无效
| 申请号： | 200610066782.4 | 申请日： | 2006-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1846876A | 公开（公告）日： | 2006-10-18 |
| 发明（设计）人： | 木岛健 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02;B05B15/10;B05D3/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能利用液相法成膜、并有效利用涂敷液的涂敷装置。涂敷装置(100)包括用于支持被处理对象(基板)的承载部(10)、用于支持并可以使承载部(10)旋转的支持装置、以及用于向承载部(10)喷射涂敷液的多个喷嘴(30、32、34)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷装置，其特征在于，包括：承载部，用于支持被处理对象；支持装置，用于使所述承载部旋转，并支持所述承载部；以及多个喷嘴，用于向所述承载部喷射涂敷液。
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